含氟电子气体是电子工业的血液和粮食-凯发体育买球

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含氟电子气体是电子工业的血液和粮食

发布时间:2020-05-29 | 游览:264

内容摘要:电子化学品,是指为电子工业配套的专用化学品,其质量好坏将直接影响到电子器件的优劣,素有"一代材料、一代产品"之说。

电子化学品,是指为电子工业配套的专用化学品,其质量好坏将直接影响到电子器件的优劣,素有"一代材料、一代产品"之说。

目前,含氟电子化学品已成为众多电子化学品中的重要一员,由于氟原子有极强的反应活性和较大的电负性,用氟原子和含氟基团代替电子化学品上的其他基团,能够显著提高电子化学品的性能,主要应用于平板显示、光伏新能源和集成电路等半导体电子产业。

电子气体是特种气体的一个重要分支,是超大规模集成电路、平面显示器件、太阳能电池,光纤等电子工业生产不可或缺的原材料,广泛应用于薄膜、蚀刻、掺杂、气相沉积、扩散等半导体工艺。

含氟电子气体是电子气体领域的高端产品,主要涉及表2中的氟化物系列、含氟的硅化物、含氟的硼化物等电子气体,在半导体制造过程中扮演着重要的角色,主要用作清洗剂、蚀刻剂、掺杂剂及成膜材料等,约占电子气体市场的30%。


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